Galvenās veiktspējas un struktūras iezīmes:
1. Laukuma blīvuma mērītājs un matrica var veidot slēgtas cilpas vadību.
2.CCD sistēma ar slēgtas cilpas vadību izmēru noteikšanai.
3. Uzlīmējiet gala lenti uz atliekām.
4. Divslāņu vircu var pārklāt vienā un tajā pašā substrāta pusē.
5. Strādājiet kopā ar MES sistēmu un pārvaldiet iekārtu mākoņa vadību.

Kvalitātes uzraudzība un atgriezeniskā saite:
1. Rentgena staru laukuma blīvuma mērītājs tiešsaistes noteikšanai.
2.CCD sistēma izmēru un defektu noteikšanai.
3.NG marķējuma tintes printera druka.
4. Temperatūras mērīšana, izmantojot IR, uz elektroda virsmas cepeškrāsns iekšpusē.
5. Masas plūsmas mērītājs tiešsaistē uzrauga plūsmu, viskozitāti un temperatūru.
6.NMP koncentrācijas monitorings katoda krāsnī un mitruma noteikšana anoda krāsnī.